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微电子领域洁净室行车检验准备

时间:2022-06-14 20:33:35 点击次数:

随着微电子行业的蓬勃发展,越来越多的洁净室行车投入使用,该类设备的检验需求量也越来越大,总结了洁净室的主要标准和对空气洁净度的基本要求,归纳了洁净室起重机相对于常规起重机在配置方面的特点。洁净室起重机定期检验有利于更好地完成该类设备的正常工作。

常规起重机在使用过程中会不同程度地产生固体颗粒物和静电吸附尘埃等,满足不了洁净室相关法律法规要求。国内外起重机生产厂家对起重机的车轮与轨道、吊钩、起升机构、集电装置和供电系统等方面进行改进,采用防尘材料、防尘防静电涂装,进行防尘罩、结构封闭等防尘设计??⒊雎憬嗑皇沂褂靡蟮慕嗑皇移鹬鼗?。


洁净室行车的检验需要在洁净室环境中进行。进入洁净室前要通过人员净化、物料净化用室和设施,并且要换装防尘服、防尘靴。检验实施流程也应做出相应调整。
现场检验前的准备:

1)检验仪器设备。检验前要和受检单位确定仪器设备的使用方案,如果使用自带仪器,则需要提前联系确定好仪器的净化方案,如果自有仪器不便带入洁净室,则需要受检单位提供相应的可在洁净室中使用的仪器设备。

2)防护用品。如果自带的防护用品达不到进入洁净室要求,也需要受检单位提供

3)原始记录。普通纸张不可带入洁净室,受检单位应提供洁净室中使用的无尘纸和笔。

4)防尘服装。受检单位应提供检验人员的防尘服、防尘靴、口罩、头套等防尘服装。

5)进入洁净室相关手续。由于洁净室的管理要求相对较多,检验人员应提前和受检单位联系,办理好相关手续。


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